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半导体厂含砷废水处理案例

天津某半导体器件企业公司低密度含砷化工废水清理建设项目(铝离子传递深度.除砷生产工艺) 一、内容背景图 深圳某半导体产业客户致力砷化镓晶片切、蚀刻与碾磨流程技术,造成流程中造成低氧化还原电位含砷情况呢废水办工院艺,日办理量 120m³(5m³/h)。源水污水水质:总砷 0.4-0.6mg/L(均匀 0.5mg/L)、pH 6.5-7.5、飘浮物 50-80mg/L、含少量氟阴离子与磷酸二氢钠。产业减排规范(GB 39731-2020)总砷最大限度 0.5mg/L,客户内控规范≤0.01mg/L,传统意义化学沉积法溢水下跌大、易于保持稳定符合标准,且工业废水出现高,需发展高准确度、低工业废水的办工院艺。 二、加工过程决定与设计制作 经小试可比性化学工业发展、吸咐、化合物置换等生产加工过程,以后通过机械自动化化机械滤过 + 抗逆性炭吸咐 + Tulsimer A-62MP 重型化合物置换不饱和树脂组装生产加工过程,目标竞争优势为加工处理定位精度提高、正常运作平稳、污泥干化量很少、机械自动化化数量提高。 机器净化单元测试卷:利用石英石砂净化器,取除废泥里悬屏物、固体粒子及个部分大氧分子有机的物,渗水压 0.2-0.3MPa,净化气速 8m/h,公款私存比表面积≥20μm,解决办法残渣阻塞事件调查不饱和树酯,减小不饱和树酯空气污染速度。 几丁质酶氧炭粘附剂单位:建议选用柱状体椰壳几丁质酶氧炭(碘值≥1000mg/g),粘附剂泥里轻微巧妙物、余氯及环节砷的络合形式,进一步的一个脚印废气处理水质标准,防护铝离子更换环氧树脂,粘附剂接受事件 30min,几丁质酶氧炭添充量 1.2m³,每 3 三个月重复利用每次。 铝化合物交流单元测试卷:中心为 Tulsimer A-62MP 大孔强酸强碱性阴铝化合物交流硅橡胶材料,该硅橡胶材料对砷酸根(AsO₄³⁻)、亚砷酸根(AsO₂⁻)兼备高采用性吸附性力量,不在正常阴铝化合物(Cl⁻、SO₄²⁻)抑制。硅橡胶材料补充量 2.5m³,交流柱直徑 1.2m、非常 2.4m,反击式水轮机停时期 15min,启动风速 5m/h;硅橡胶材料呈现饱和状态后用 4% NaOH 硫酸铜溶液回收利用,回收利用液运用量为硅橡胶材料容积的 2 倍,回收利用时期 4h,回收利用后用江水冲洗器至弱酸性,无限循环食用,回收利用过渡期约 7 天。 三、简单加载的流程 工业污废水 收录:生产加工含砷工业污废水 经污水管道流入调准池,均质均量,调准池有效率面积 50m³,停时长 10h,池内配置曝气池搅拌机传动装置,放到浮窗物沉淀出的,相对稳定漏液水质标准供水量。 机械装备进行过滤系统:调理池废水处理方法经泵的提升至石英晶体砂进行过滤系统器,除掉悬停物后,留水悬停物≤5mg/L,自动流出开始吸性炭吸罐。 催化渗透性炭包过滤:废水处理与催化渗透性炭包充分的接触的面积,清除有机酸物与钙镁铝离子后,出水出水迈入铝离子互转柱,使用厚度除砷。 亚铁阳离子更换除砷:废水处理方法遵循原则交界光敏聚酯聚酯树脂层,砷酸根、亚砷酸根与光敏聚酯聚酯树脂上 Cl⁻时有发生更换发生反应,砷亚铁阳离子被光敏聚酯聚酯树脂吸咐,出水出水总砷≤0.01mg/L,不合格后工业废水处理至制造流程或排放出。 环氧树酯复苏:当有水出砷含量>0.008mg/L 时,开始复苏执行程序:先反洗(凉水自下而上擦拭环氧树酯层,删去面上杂物,反洗空气流体密度 10m/h,周期 15min)→复苏(4% NaOH 悬浊液逐层经过环氧树酯层,过柱吸附性的砷阴离子,复苏空气流体密度 2m/h)→正洗(凉水逐层擦拭环氧树酯,删去存留复苏液,正洗空气流体密度 5m/h,周期 30min)→后备电源,复苏电镀废水采集后收集工作,防止首次生态破坏。 四、正常运作特效与数据库数据挖掘 工程项目陆续运动 12 个月时间,几项完成指标稳定可靠达到标准,重点数据资料如下所述: 泡水总砷:0.4-0.6mg/L(差不多 0.5mg/L); 溢水总砷:0.003-0.008mg/L(分別 0.005mg/L),快速清理率≥99%; 留水 pH:6.8-7.2,符合要求使用要求; 不饱和树脂重复利用期:7±1 天,重复利用液砷酸度约 15-20mg/L,重复利用废渣经催化放置加工处理后不合格尾气排放; 废水产品量:仅为常用化学结晶法的 5%,幅宽上削减废水治理成本价。 五、资金与经济收益分享 投資价格料工费:总投資价格 180 百多万块,这之中专用设备费 120 百多万块(净化罐、物理吸附罐、铝离子交互柱、泵、电气自动化体统等)、重新安装费 30 百多万块、操作以及其他价格 30 百多万块。 正常运作制造费:约 2.8 元 /m³,涉及到树酯消耗的资金(0.5 元 /m³,树酯适用使用期 3-5 年)、化学剂费(0.8 元 /m³,NaOH、稀盐酸等)、水电费(0.6 元 /m³)、劳动力及维护费(0.9 元 /m³)。 效率:出液不稳满足了内控规格,以免 节能减排符合标准的风险;工作后工业废水工业废水处理率达 80%,年厉行节约纯净水服务费约 40 万块;废水收回利用 95%,年削减废水处治服务费约 25 万块,整合年净利润约 60 万块,投資收回期 3 年。 六、案例分析总结会 本投资项目涉及半导体芯片低质量溶液渗透压含砷工业化工废水解决 “低质量溶液渗透压、高精确标准、饮用水质错综复杂” 特性,选择阴离子交互搭配加工过程,完成满足传统文化加工过程溢水波动性、污泥干化解决量大的关注点。加工过程自己化度高,操控简便计算,运营不稳,除砷疗效优秀,溢水总砷不稳≤0.01mg/L,也满足工业化工废水解决回收与污泥干化解决减药,兼备的环境效果与社会经济效果,为电子厂这个行业低质量溶液渗透压含砷工业化工废水解决深层解决出示可操作的高技术规范设计。

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